表面和體積電阻率測試儀（高阻）參照標準：

(1)參照標準：GB/T 22042-2008《服裝 防靜電性能 表面電阻率試驗方法》；EN 1149-1-1995 《 靜電性能 第1部分表面電阻檢驗方法和要求》；GB/T 1410-2006《固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗方法》（與國際標準IEC93-1980等效）；FZ/T 64013-2008 《靜電植絨毛絨》；

SJ/10694-2006《電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測通用規(guī)范》6.1及ASTM D257《絕緣材料的直流電阻或電導試驗方法》要求制作。GB/T 2439-2001《硫化橡膠或熱塑性橡膠 導電性能和耗散性能電阻率的測定》；GB/T 10581-2006 《絕緣材料在高溫下電阻和電阻率的試驗方法》 ；GB/T 1692-2008 《硫化橡膠絕緣電阻率的測定》；GB/T 12703.4-2010 《紡織品 靜電性能的評定 第４部分：電阻率》 GB/T 10064-2006《測定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗方法》。

表面和體積電阻率測試儀（高阻）適用范圍：

適用于測量粉末、粉體、顆粒物、氣體、電子元器件、介質(zhì)材料、電線電纜、防靜電產(chǎn)品、如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計算機房防靜電活動地板等電阻值等絕緣性能的檢驗和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測量。

功能介紹：

配不同的測量電極(夾具)可以測量不同材料 (固體、粉體或液體)的體積電阻率和表面電阻率. 具有高電阻，微電流測量，中文或英文兩種語言本.

主要特點

BEST-310炭素電阻率測試儀

1. 描述：

四端測試法測量碳素材料，石墨等塊狀棒狀及粉末材料常溫下導電性能。恒流，自動電流檔， 4.3吋液晶顯示，顯示：電流、電壓、溫度、電阻率，電導率，電阻等數(shù)據(jù)，選配：PC軟件獲得測試數(shù)據(jù)之圖譜和報表。根據(jù)產(chǎn)品形狀不同選購測試治具.

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二.適用范圍：

適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門對材料之研究.

三.參照標準：

鋁用炭素材料檢測方法 第2部分 陰極炭塊和預(yù)焙陽極室溫電阻率的測定 GB/T6717、GB/T 24525-2009、YS/T63.2炭素材料電阻率測定方法.；ISO 11713-2000、YS/T63.2-2005和YS/T 64-1993標準方法測試陰極炭塊、預(yù)焙陽極、陽極糊陰極糊和炭素制品常溫下的電阻率。

炭素材料制品的電阻率值是評價炭制品電極質(zhì)量，也是在炭制品加工中控制監(jiān)督工藝過程的重要參數(shù)。

測量電阻靈敏度達0.01μΩ. ，測試電流能達到10A

高頻介電常數(shù)測試儀

介電常數(shù)測量技術(shù)在民用，工業(yè)以及等各個領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。本文主要對介電常數(shù)測量的常用方法進

行了綜合論述。首先對標準進行了對比總結(jié)；然后分別論述了幾種常用測量方法的基本原理、適用范圍、

優(yōu)缺點及發(fā)展近況；后對幾種測量方法進行了對比總結(jié)，得出結(jié)論。

介電常數(shù)是物體的重要物理性質(zhì)，對介電常數(shù)的研究有重要的理論和應(yīng)用意義。電氣工程中的電介質(zhì)問題、電磁兼容問題、生物、微波、電子技術(shù)食品加工和地質(zhì)勘探中，無一不利用到物質(zhì)的電磁特性，對介電常數(shù)的測量提出了要求。目前對介電常數(shù)測量方法的應(yīng)用可以說是遍及民用、工業(yè)、國防的各個領(lǐng)域

在食品加工行業(yè)當中，儲藏、加工、滅菌、分級及質(zhì)檢等方面都廣泛采用了介電常數(shù)的測量技術(shù)。例如，通過測量介電常數(shù)的大小，新鮮果蔬品質(zhì)、含水率、發(fā)酵和干燥過程中的一些指標都得到間接體現(xiàn)，此外，根據(jù)食品的介電常數(shù)、含水率確定殺菌時間和功率密度等工藝參數(shù)也是重要的應(yīng)用之一[1]。在路基壓實質(zhì)量檢測和評價中，如果利用常規(guī)的方法，盡管測量結(jié)果比較準確，但工作量大、周期長、速度慢且對路面造成破壞。由于土體的含水量、溫度及密度都會對其介電特性產(chǎn)生不同程度的影響，因此可以采用雷達對整個區(qū)域進行測試以反算出介電常數(shù)的數(shù)值，通過分析介電性得到路基的密度及壓實度等參數(shù)，達到快速測量路基的密度及壓實度的目的[2]。此外，復(fù)介電常數(shù)測量技術(shù)還在水土污染的監(jiān)測中得到了應(yīng)用[3]。并且還可通過對巖石介電常數(shù)的測量對地震進行預(yù)報[4]。上面說的是介電常數(shù)測量在民用方面的部分應(yīng)用，其在工業(yè)上也有重要的應(yīng)用。典型的例子有低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應(yīng)用以及高介電常數(shù)材料在半導體儲存器件中的應(yīng)用。在集成電路工藝中，隨著晶體管密度的不斷增加和線寬的不斷減小，互聯(lián)中電容和電阻的寄生效應(yīng)不斷增大，傳統(tǒng)的絕緣材料二氧化硅被低介電常數(shù)材料所代替是必然的。目前Applied Materials 的BlackDiamond 作為低介電常數(shù)材料，已經(jīng)應(yīng)用于集成電路的商業(yè)化生產(chǎn)[5]。在半導體儲存器件中，利用高介電常數(shù)材料能夠解決半導體器件尺寸縮小而導致的柵氧層厚度極限的問題，同時具備特殊的物理特性，可以實現(xiàn)具有特殊性能的新器件[6]。在方面，介電常數(shù)測量技術(shù)也廣泛應(yīng)用于雷達和各種特

殊材料的制造與檢測當中。對介電常數(shù)測量技術(shù)的應(yīng)用可以說是不勝枚舉。介電常數(shù)的測量技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于民用、工業(yè)和國防各個領(lǐng)域，并且有發(fā)展的空間和必要性。我們對測量介電常數(shù)的方法進行總結(jié)，能更清晰的認識測量方法的現(xiàn)狀，為某些應(yīng)用提供一種可能適合的方法，是有一定理論和工程應(yīng)用意義的。

.介電常數(shù)測量方法綜述介電常數(shù)的測量按材質(zhì)分類可以分為對固體、液體、氣體以及粉末(顆粒)的測量[7]。固體電介質(zhì)在測量時應(yīng)用為廣泛，通常可以分為對固定形狀大小的固體和對形狀不確定的固體的測量。相對于固體，液體和氣體的測試方法較少。對于液體，可以采用波導反射法測量其介電常數(shù)，誤差在5%左右[8]。此外標準中給出了在90℃、工頻條件下測量液體損耗角正切及介電常數(shù)的方法[9]。對于氣體，具體測試方法少且精度都不十分高。文獻[10]中給出一種測量方法，以測量共振頻率為基礎(chǔ)，在LC 串聯(lián)諧振電路中產(chǎn)生震蕩，利用數(shù)字頻率計測量諧振頻率，不斷改變壓強和記錄當前壓強下諧振頻率，后用作圖或者一元線性回歸法處理數(shù)據(jù)，得到電容變化率進而計算出相對介電常數(shù)。

表1 是測量固體介電常數(shù)的標準方法(不包括廢止的方法)及其對頻率、介電常數(shù)范圍、材料等

情況的要求。如表1 所示，標準中已經(jīng)對微擾法和開式腔法的過程做了詳細介紹，然而對適用頻率和介電常數(shù)的范圍都有所限制。所以在不同材料，不同頻率的情況下，標準也給出了相應(yīng)的具體測量方法。可見，上面所分析的方法并不是可以隨便套用的。在不同的系統(tǒng)、測量不同的材料、所要求的頻率不同的情況下，需要對其具體問題具體分析，這樣才能得出準確的方法。標準測量方法覆蓋的頻率為50 MHz 以下和100 MHz 到30 GHz，可以說是一個較廣的頻率覆蓋范圍，但是不同范圍適用的材料和環(huán)境等都有所不同。介電常數(shù)的覆蓋范圍是2 到100，接近1 的介電常數(shù)和較高介電常數(shù)的測量方法比較稀缺，損耗普遍在10?3 到10?4 的數(shù)量級上。3. 測量介電常數(shù)的幾種主要方法從總體來說，目前測量介電常數(shù)的方法主要有集中電路法、傳輸線法、諧振法、自由空間波法等等。其中，傳輸線法、集中電路法、諧振法等屬于實驗室測量方法，測量通常是在實驗室中進行，要求具有相應(yīng)的樣品采集技術(shù)。另外對于已知介電常數(shù)材料發(fā)泡后的介電常數(shù)通常用經(jīng)驗公式得到[26]。下面，分別對這幾種方法的原理、特點和發(fā)展現(xiàn)狀等做分別闡述。3.1. 集中電路法集中電路法是一種在低頻段將有耗材料填充電容，利用電容各參數(shù)以及測量得到的導納推出介電常數(shù)的一種方法。其原理公式為：

其中， Y 為導納， A 為電容面積， d 為極板間距離，e0 為空氣介電常數(shù)，ω 為角頻率。為了測量導納，通常用并聯(lián)諧振回路測出Q 值(品質(zhì)因數(shù))和頻率，進而推出介電常數(shù)。由于其高頻率會受到小電感的限制，這種方法的高頻率一般是100 MHz。小電感一般為10 nHz 左右。如果電感過，高頻段雜散電容影響太大。如果頻率過高，則會形成駐波，改變諧振頻率同時輻射損耗驟然增加。但這種方法并不適用于低損材料。因為這種方法能測得的Q 值只有200 左右，使用網(wǎng)絡(luò)分析儀測得tand 也只在10?4 左右。這種方法不但準確度不高，而且只能測量較低頻率，在現(xiàn)有通信應(yīng)用要求下已不應(yīng)用。

[GB/T 1693-2007]硫化橡膠介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角工頻、高頻適用于硫化橡膠

正切值的測定方法

[GB/T 5597-1999]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)的測

2~18 試方法 GHz 2~20 0.0001~0.005

[GB 7265.1-87]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)的測試方2~18 GHz 2~20 0.0001~0.005 微擾法

法——微擾法

[GB 7265.2-87]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)的測試方法——“開式腔"法 3~30 GHz 5~100 0.0002~0.006 開式腔法

[GB 11297.11-89]熱釋電材料介電常數(shù)的測試方法1 kHz ± 5% 適用于熱釋電材料

[GB 11310-89]壓電陶瓷材料性能測試方法相對自由介電常數(shù)溫度特性的測試 1 kHz 適用于壓電陶瓷材料

[GB/T 12636-90]微波介質(zhì)基片復(fù)介電常數(shù)帶狀線測1~20 GHz 2~25 0.0005~0.01 試方法

[QJ 1990.3-90]電絕緣粘合劑電性能測試方法工頻、工頻、高頻適用于電絕緣粘合劑

高頻下介質(zhì)損耗角正切及相對介電常數(shù)的測量(1 MHz 以下)

[SJ 20512-1995]微波大損耗固體材料復(fù)介電常數(shù)和

2~40 GHz 2~100<1.2 適用于微波大損耗固體材料

復(fù)磁導率測試方法

[SJ/T 1147-93]電容器用有機薄膜介質(zhì)損耗角正切值工頻、1 kHz、1 適用于電容器用有機薄膜

和介電常數(shù)試驗方法MHz

[SJ/T 10142-91]電介質(zhì)材料微波復(fù)介電常數(shù)測試方4~12 GHz 4~80 0.1~1 適用于電介質(zhì)材料、同軸線終端開路